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螺桿型干式真空泵工作原理 螺桿泵的工作循環可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉子旋轉,每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環,現以其中的一對齒來說明。 1. 吸氣過程 下圖示出螺桿泵的吸氣過程,所研究的一對齒用箭頭標出。在圖中,陽轉子按逆時針方向旋轉,陰轉子按順時針方向旋轉。圖中的轉子端面是吸氣端面。 圖a示出吸氣過程即將開始時的轉子位置。在這一時刻,這一對齒前端的型線嚙合,且即將與吸氣口連接。隨著轉子開始轉動,由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積,這個齒間容積的擴大,在其內部形成了真空,而此齒間容積又僅與吸氣口連通,因此氣體便在壓差作用下流入其中,如圖b中陰影部分所示。在隨后的轉子旋轉過程中,陽轉子齒不斷從陰轉子齒的齒槽中脫離出來,齒間容積不斷擴大,并與吸氣孔口保持連通。 吸氣過程結束時的轉子位置如圖c所示,其顯著的特點是齒間容積達到峰值。隨著轉子的旋轉,所研究的齒間容積不會再增加。齒間容積在此位置與吸氣孔口斷開,吸氣過程結束。 2 壓縮過程 下圖示出螺桿泵的壓縮過程。圖中的轉子端面是排氣端面。在這里,陽轉子沿順時針方向旋轉,陰轉子沿逆時針方向旋轉。 圖a示出螺桿泵壓縮過程即將開始時的轉子位置。此時氣體被轉子齒和機殼包圍在一個封閉的空間中,齒間容積由于轉子齒的嚙合就要開始減小。 隨著轉子的旋轉,齒間容積由于轉子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據體積也隨之減小,導致壓力升高,從而實現氣體的壓縮過程,如圖b所示。壓縮過程可一直持續到齒間容積即將與排氣孔口連通之前。如圖c所示。 3 排氣過程 下圖示出螺桿泵的排氣過程。齒間容積與排氣孔口連通后,即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小,具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出,如圖a所示。這個過程一直持續到齒末端的型線嚙合,如圖b所示。此時,齒間容積內的氣體通過排氣孔口被排出,封閉的齒間容積的體積變為零。
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